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          超净工作台的检定方法

          超净工作台的检定方法
           
          1.泄漏检定方法
           
          使用多分散DOP气溶胶(冷烟)发生器向高效空气过滤器上游侧发DOP气溶胶(冷烟)同时用检漏装置的采样器在下游侧距高效空气过滤器出口约2.5cm处进行扫描巡检采样为47.2×10-5m2/s[28.3L/min]巡检速度≤5cm/s当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于0.01%时则认为有明显泄漏应进行堵漏
           
          2.操作区洁净度检定方法
           
          尽量采用大流量(47.2×10-5m2/s[28.3L/min])尘埃粒子计数器?#37096;?#20197;采用小流量尘埃粒子计数器但采样量不得小于1L当操作区气溶胶浓度达到稳定条件在距主过滤器或整流格栅出口250mm的平行断面的?#34892;?#22788;(垂直层流超净工作台面250mm的?#34892;?#22788;)连续测试5次求其平均值洁净度应符合1节(2)要求
           
          3.风速检定方法
           
          采用便携式热球电风速计或便携式热敏电阻恒温风速计进行测试在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积各面积?#34892;?#28857;即为风速测点各测点间距离不应大于25cm由各测点风速?#23548;?#31639;出截面风算术平均值风速和风速均匀?#26434;?#31526;合1

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